为加强微纳器件技术研究的多学科、多领域、多产业的交叉融合、以及人才的交流与合作, 2024年6月21日至23日,微纳器件与系统创新论坛(2024)暨中国微米纳米技术学会微纳技术应用创新系列大会在西安市成功召开,来自国内120余家高校、科研机构以及企业的500余名学者以及学生参加本次会议,249位专家学者聚焦微纳器件与系统领域前沿研究进展进行了专题报告。
中国科学院院士、清华大学段文晖教授,中国工程院院士、西安交通大学蒋庄德教授担任大会主席。中电科芯片技术(集团)有限公司党委书记、董事长王颖,清华大学王晓浩教授,清华大学柳强教授担任大会副主席。西安交通大学韦学勇教授,西安交通大学赵立波教授,中国电子科技集团马晋毅研究员,清华大学唐飞副研究员担任大会执行主席。
![](/__local/2/07/B1/7D0AF5395A23E75AEFFD19E4D8D_5D253552_1E429.png)
会议开幕式由韦学勇教授主持。中国工程院院士、西安交通大学蒋庄德教授代表主办方、承办方致欢迎辞,对参会嘉宾的到来表示热烈欢迎,并指出微米纳米技术在智能感知、微纳器件、敏感芯片等作用显著,是新质生产力的重要体现,而且目前微纳器件处于大爆发期,需要我们创新技术,面向四个重大需求,突出方向,助力我国国防事业以及科技发展。中电科芯片技术(集团)有限公司党委书记、董事长王颖,安徽北方微电子研究院集团有限公司党委书记、董事长陈丙根在开幕式上致辞,分别介绍了所属企业的产业情况,希望通过会议交流,共同推动微纳器件与系统领域的进一步发展。
![](/__local/A/71/A8/32294447CC86D8C39A0A8D4E1CF_D2D91658_15562.png)
![](/__local/B/0C/7C/DA548D387035CD766A8360D94AB_404C0184_14FB9.png)
大会报告环节由中国工程院院士、西安交通大学蒋庄德教授,西安交通大学彭年才教授,西安交通大学田边教授共同主持。
中国科学院院士、武汉大学刘胜教授作题为《芯片异质异构集成与封装制造》的报告,介绍了薄膜装备及真空互联、键合与减薄工艺研究、TSV封装工艺研究、半导体材料与器件集成等主要研究成果及进展。
中国科学院院士、陕西师范大学房喻教授作题为《敏感材料创新与 CBRN 传感器—以薄膜荧光传感器为例》的报告,从敏感材料创新和器件结构研制两个方面介绍薄膜荧光传感器研究进展和发展面临的主要挑战。
西安交通大学赵玉龙教授作题为《微火工品微纳执行器关键技术研究与应用》的报告,主要分析了微型化智能弹药现状及发展趋势,介绍了用 MEMS 技术设计制作新型微火工品及微引信技术的微纳执行器关键技术和方法。
西北工业大学苑伟政教授作题为《仿生微纳结构及其应用》的报告,从仿生防冰、仿生气动减阻、仿生水下减阻三个方面介绍了仿生微纳结构研究实例,指出仿生微纳结构制造技术多样化面临的挑战。
吉林大学韩志武教授作题为《生物超敏感知原理与高精度仿生传感技术》的报告,通过系统介绍团队所研发的基于蝎子感受器形态和功能结构的多种仿生传感器,展示了仿生传感器的通用设计方法和精准制造工艺。
![](/__local/C/A4/8A/5A7934564801EEF3421CBBCC361_1D08F0EC_15359.png)
![](/__local/7/C1/D0/1287AF4741D1BC4618D7AFC9370_22F8F4F7_1141C.png)
![](/__local/C/13/AA/D93F37B239D865F82C867B0C397_A768D2BA_132D5.png)
会议期间,244位专家学者围绕微纳传感器与系统、微纳光电器件与系统、微纳声学器件与系统、微纳流控器件与生物微机电系统、微纳柔性器件与系统、微纳执行器与微纳机器人、微纳能源与智能系统等议题,划分7个分论坛进行报告。
本次论坛由中国微米纳米技术学会主办,西安交通大学仪器科学与技术学院、精密微纳制造技术全国重点实验室承办,中国电科芯片技术研究院、中电科芯片技术(集团)有限公司协办,为微纳器件及相关科技的发展搭建学术交流与产教融合的创新平台。